通过放电等离子设备产生高能电子、羟基、臭氧及氧原子，高能电子轰击污染分子,同时自由氧、羟基、自由基氧化污染物分子。

适用范围：适用范围广，净化效率高

优点：电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；运行费用低；反应快，设备启动、停止十分迅速，随用随开。

缺点：一次性投资较高。